（董達／綜合外電）

全球最大的半導體微曝製程用Eximer Light Source裝置業者Cymer在南韓的分公司Cymer Korea 16日表示，該公司將投資1,000萬美元，於京畿道平澤達2,000坪的工廠用地興建700坪（無塵室150坪）規模的工廠，預定在明年下半年開始投產半導體微曝用Eximer Light Source裝置核心模組－Chamber（HV Discharge Chamber）。 並表示，將以南韓為其在亞洲的核心生產據點，未來在南韓生產的Chamber將優先供應南韓半導體製造業者，並計劃出口台灣、新加坡與日本等地。

Cymer將在南韓生產的Eximer Laser Chamber，係提供於晶圓形成電路圖案的DUV Stepper（深紫外光步進曝光機）與Scanner（掃瞄機）等曝光設備光源的裝置，即248奈米波長的1kHz/2kHz級KrF（氟化氪）Eximer Laser Chamber與ArF（氟化氬）Eximer Laser Chamber。   

(本資料由WWW.2300.COM.TW提供)